SURFTENS AUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪

简介:SURFTENS AUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪是一台适用于测量接触角和表面自由能的仪器。其组件包括:马达泵,自动滴液系统,马达驱动的测量平台(200x200mm)。


仪器简介

SURFTENSAUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪是德国OEG公司专为半导体行业和科研领域的测量需求所研发生产,特别适用于对晶圆涂层和印刻的质量监控。



仪器有以下特点:

  • ?   操作人员可快速方便对接触角进行测量
  • ?   产品结构小巧,节省空间
  • ?   仪器x/y移动平台由马达驱动,可自动定位样品
  • ?   全自动滴液系统
  • ?   直观简洁的软件操作界面
  • ?   测量的结果可存储为文档格式或者图片格式
  • ?   软件根据表面张力原理计算被测表面的表面自由能
  • ?   自动绘制滴液在晶圆表面的接触角

快速测量接触角和均匀度

德国OEG公司出产的SURFTENSAUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪具有体积。?饬渴奔涠,操作简单等优点,适用于清洁、无尘的测量环境。

操作人员只需按下按钮,SURFTENS AUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪就能开始工作。步进电机快速驱动移动平台x/y轴,并确保晶圆上每次滴液的位置准确度。只需几秒时间,SURFTENS AUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪便可测出被测样品的表面均匀度。在快速打印出测量结果同时,测量数据还可以传输到质检软件(QA software)或保存为不同格式文档。


高精度全自动测量

SURFTENSAUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪使用全自动滴液系统控制测量过程中滴液的注入量和悬滴过程(注入量可调)。操作人员可以通过计算机屏幕实时观测到高质量的滴液画面。只需简单按下开始操作按钮,测量即可开始。软件在快速处理大量测量数据后,只需很短时间便可计算出接触角的大小。一般情况下,仪器只需1秒钟时间便可精确测量一个滴液产生的接触角。SURFTENS AUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪在缩短测量时间的同时,还保证测量精度及可重复性。当仪器得出的滴液图像的对比度不够时,操作人员可选择手动控制仪器。


SURFTENS AUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪-基本应用


在当今工业生产和科学研究领域,通过表面处理技术来改变产品表面的润湿能力已相当普遍。通过对固体表面自由能测量可准确评估产品表面(表面涂层)质量,所以在产品加工处理过程中,直观准确的测量出产品表面在加工前后自由能变化是非常必要的。对晶圆表面来说,表面特性的微小变化可导致接触角发生较大变化。研发人员可通过对接触角的测量,不断优化晶圆加工工艺,并有效降低晶圆生产厂商在后续加工过程中出现质量问题的几率。


技术参数

    

    基于视频技术的全自动接触角测量仪


德国OEG公司出产的SURFTENSAUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪不仅适用于清洁无尘环境下晶圆或平面显示元件使用的导电膜玻璃基板测量,该测量仪还可完成批量测试任务和系统分析。SURFTENS AUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪不仅有效节省测量时间,并可通过自动化检测过程避免人为因素造成的测量误差。



    SURFTENS AUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪可完成如下测量任务:

  • ?固体表面润湿特性的测量
  • ?根据座滴法测量静态和动态接触角
  • ?根据座滴法计算表面和界面张力
  • 根据表面张力原理(Wu调和平均法测)计算固体和其他组件的表面自由能

      

        SURFTENS AUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪的基本组件如下:

  • ?可进行轴向和径向定位的单滴液针头
  • ?测量平台可全自动高精度定位
  • 远心透镜系统
  • ?配有高精度CCD相机的视频观测及测量系统
  • ?具有亮度可连续调节并且照度均匀的光源
  • ?控制和测量的电子元件
  • 计算机电源供电
  • ?基于WINDOWS操作系统开发的测量软件’’SURFTENS’’
  • ?控制样品在X/Y轴方向定位的控制器,控制滴液针头在Z轴方向定位的控制器

    软件选项

  • ?通过带有模拟标准CCD相机的OEG-采集卡,实时显示测量过程
  • ?通过特殊的兆像素数字相机,实时显示测量过程
  • ?通过Twain扫描接口,获得所有图像
  • 数字图片的高分辨率可达(4086*4096)
  • ?图片缩放(校正数值的转换)
  • ?按照合理的比例缩放图片和文字(图片缩放后)
  • ?自动计算最佳的缩放比例
  • ?图像可以以BMP格式,JPEG格式和图片格式储存和打印
  • ?图片文件可以从媒体文件中随意复制/读取
  • ?插入十字线 (视屏十字线显示)
  • ?插入网格线(视屏网格线显示)
  • ?统计和测量错误分析

     测量选项

  • ?手动测量被测表面和滴液接触角
  • 全自动(基于灰色格调)测量被测表面和滴液接触角
  • ?软件根据极性和非极性元件的接触角测量,计算出表面自由能(表面张力原理/Wu调和平均法测)
  • ?实时显示接触角的图像
  • ?根据时间变化,实时测量接触角
  • ?使用滴液针头测量接触角(动态接触角测量)


         SURFTENS AUTOMATIC全自动接触角/表面张力仪的技术参数?

  • 测量面积 200*200 mm
  • ?样品定位精度  -0.05-0.05 mm
  • ?接触角测量范围 1-180 deg
  • ?视频系统的测量精度 -0.5-0.5 deg
  • ?使测量方法:座滴法
  • 清洁无尘室等级为100(最佳测量环境)
  • 3轴步进电机控制器,可以进行微小的步距操作

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