SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪

简介:SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪是一台适用于测量接触角,表面自由能的仪器。特别适用于半导体行业中的晶圆片(最大尺寸为300 mm)测量。


德国OEG公司开发生产的SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪专为半导体行业和科研需求所设计,特别适用于对晶圆片涂层和印刻的质量监控。

SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪有以下特点:

  • ?  操作人员可快速方便进行接触角测量
  • ?  仪器结构小巧,节省空间
  • ?  仪器带有特殊结构的工作台,减少了仪器滴液所花费的时间
  • ?  直观简洁的软件操作界面
  • ?   测量的结果可以存储为文档格式或者图片格式
  • ?  软件采用Wu方法(Wu调和平均法测)计算被测表面的表面自由能
  • ?  用户可根据仪器的成像系统(相机),选用计算机或笔记本电脑作为数据处理设   备

SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪可测试的最大晶圆片尺寸为300x300mm

 带有手动泵的SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪仪可测直径为300 mm的晶圆片

SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪-应用

在当今工业生产和科学研究领域,通过表面处理技术来改变产品表面的润湿能力已相当普遍。通过对固体表面自由能测量可准确评估产品表面(表面涂层)质量,所以在产品加工处理过程中,直观准确的测量出产品表面在加工前后自由能变化是非常必要的。

为满足实验室及工业用途表面自由能测量需求,德国OEG公司开发设计了坚固耐用且实用性强SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪。该仪器操作简单,操作人员只需通过简单培训,便可熟练操作。

SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪可满足工业和科研领域的常规测量,且性价比极高。SURFTENS HL测量仪对产品进行测量后,通过仪器软件“SURFTENS”分析,操作人员便可获得接触角和表面自由能的参数。仪器出色的文档存储功能可为日后的研究工作提供了很大的帮助。


SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪- 测量软件介绍

在仪器自带的软件“SURFTENS”的帮助下,操作人员只需选取不同的滴液和滴液位置,软件根据座滴法,自动测量出滴液和表面的接触角。通过图像处理技术,仪器可显示滴液的形状。为了对比不同表面位置的情况,软件还额外提供了手动设置基准线的功能。操作人员只需通过观察监控器,在样品表面设置不同测量点(对比基准线),便可进行测量。

通过增加辅助设备,仪器还可增添如下功能:

  • ?  操作人员可实时观测当前接触角
  • ?  操作人员可设定测量时间间隔,自动测量接触角,测量结果以图表显示(最小可设定时间间隔为50 ms)
  • ?  可测量接触角的前进角和后退角(动态接触角)
  • ?  同步测量接触角的左右两边轮廓
  • ?  在滴液时和滴液后,仪器自动计算滴液体积

软件只需通对对最多5种滴液的测量,便可得出其接触角,通过评估模型(根据表面张力原理)便可计算出被测样品的表面自由能。

测量结果可以以文档格式或者AVI格式储存下来。测量软件一项非常重要的功能是,可直接从实时图像中获取AVI格式的文件,并且所有后续的测量及文档功能都可以针对于整个AVI文档或文档中的任意一个单独的图像。这项功能为操作人员日后的研究工作带来帮助。


SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪- 测量精度

由于仪器采集的实时图像决定了测量精度,但在实际测量过程中,每一次滴液的结果会根据环境的影响(如:受热蒸发)而产生变化。因此,必须借助接触角标准才能确定其精度。为了保证SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪的测量精度,OEG公司为客户提供一套接触角测量标准数据库。

测量参数:

    接触角测量分辨率:0.05°

    接触角测量可重复性:+/- 0,1°

    接触角测量精度:+/- 0,5°


SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪-可选配的硬件和软件

如果客户需要,OEG公司可以为SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪配置其他辅助设备,如: 2倍、3倍计量的滴液系统(全自动,由马达驱动且软件控制的滴液设备),或配备热交换仪等。

SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪还可通过使用倾斜平台对样品进行座滴法测量。测量过程中倾斜平台倾斜的不仅仅是被测样品,而是整台测量仪。因此,实时图像只显示倾斜角造成的左边及右边接触角。仪器首先对水平定位的液滴进行测量,然后在两侧进行对称接触角测量,液滴的轮廓会随着倾斜角度发生变化。液滴形状的变化便是由倾斜角造成的重力变化。

OEG公司还为客户提供另外三款用于接触角,表面张力及表面自由能的测量的仪器产品:SURFTENS-universal手动接触角/表面张力仪,SURFTENS-automatic全自动接触角/表面张力仪和WH 300接触角/表面张力仪。详情请参阅我公司网页提供的产品介绍。


SURFTENS HL半自动接触角/表面张力仪-技术参数




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