LM系列接触式激光干涉仪测头

简介:激光干涉测量探头

构造和工作原理:

德国SIOS公司生产的LM系列激光干涉测量探头是一种精密长度测量仪器,此首创类型能在20毫米或050毫米的测量范围内实现纳米级高精度的接触式长度测量。设计精密的测量头和8h6-毫米测杆套筒与传统测量系统相容。 
结合微型干涉头将由电机驱动测头运动产生的光学干涉信号通过光纤传输到光电信号处理与激光电源单元,经数据处理变为位移长度值。
采用稳频氦氖激光器与环境参数实时采集动态修正技术是提高测量精度的基本要素。操作和数据结果的显示可以结合专用的键盘与显示器或配有套装软件的个人计算机来得以实现。

 

 

特性和优点:

  • 基于激光干涉的测量方法达到高精度和高准确性
  • 采用稳频氦氖激光作为长度基准
  • 在全量程中具有恒定的测量力和良好的线形度
  • 采用光纤耦合测头
  • 采用防止电磁干扰的信号接收/传送元件
  • 对其它测量设备和实验装置不产生热干扰
  • 对环境因素引起的激光波长变化进行修正
  • 马达驱动测杆
  • 使用于各种场合

 

应用: 

  • 高精度长度测量探头
  • 最终尺寸检验
  • 检测块规,标准件以及其它测量设备
  • 厚度测量 譬如:塑胶薄膜等
  • 测量硬度测针产生的压痕深度
  • 接触式表面轮廓测量
  • 测量形变量
  • 在研究和开发领域中完成标准级精度测试

 

技术参数: 

技术参数 

LM 20

LM 50  

测量范围                                                                                毫米                       
解析度                                                                                   纳米
波长                                                                                       纳米
工作温度范围                                                                        摄氏度
测杆套筒直径                                                                        毫米
测头压力(出厂预设恒定值)                                                   牛顿
尺寸 (长x宽x高)
   传感测头(不含测杆套筒)                                                    毫米
   传感测头(含测杆套筒)                                                        毫米
   光电信号处理/电源供给单元                                              毫米
   键盘/显示单元                                                                    毫米
重量
   传感测头                                                                            克
   光电信号处理/电源供给单元                                              克
   键盘/显示单元                                                                    克
介面
  串列埠
  并列埠(可。?br />从传感测头到光电信号处理/电源供给单元的电缆长度         米
使用电压                                                                              交流电压
使用频率                                                                              赫兹

 20
 1
 632,8
 10…30
 8h6
 0,5…1,5

 137 x 60 x 36
 170 x 60 x 36
 150 x 450 x 400
 48 x 190 x 138

 370
 9.500
 630

 RS 232 C
 USB
 3, 可选用至25
 100…240
 47…60

 50
 1
 632,8
 10…30
 8h6
 0,5…1,5

 170 x 60 x 36
 220 x 60 x 36
 150 x 450 x 400
 48 x 190 x 138

 420
 9.500
 630

 RS 232 C
 USB
 3, 可选用至25
 100…240
 47…60