MI系列微型角隅棱镜干涉仪

简介:MI系列微型角隅棱镜干涉仪

构造与工作原理:

德国SIOS公司生产的MI系列微型角隅棱镜干涉仪是一种高精度长度测量仪器。其设计目的在于可以方便地与用户的测量系统相组合,并且能够很好的实现各种实验与测量任务。其微型激光传感测头和三面角锥反射棱镜可以永久的安装在测量系统内。传感测头与光纤电缆耦合不仅能够很好的被使用而且还增加整个系统的灵活性和通用性。
角锥棱镜运动产生的光学干涉信号通过光纤传输到光电信号处理与激光电源单元,经数据处理变为位移长度值。采用大范围动态稳频氦氖激光器与环境参数实时采集动态修正技术是提高测量精度的基本要素。除此之外干涉仪本身无线形误差。
操作和数据结果的显示可以结合专用的键盘与显示器或配有套装软件的个人计算机(包括笔记本计算机)来得以实现。


 

特性与优点:

  • 高精度长度测量仪器
  • 可同使用者系统相组合的通用仪器,并适用于各种类型的工作,易于对准与使用
  • 允许角锥棱镜进行高速运动
  • 对角锥棱镜的角度偏斜范围大
  • 光纤耦合的传感器头
  • 不产生热干扰
  • 采用防止电磁干扰的信号接收/传送元件
  • 采用高精度稳频的氦氖激光作为长度基准
  • 对环境因素引起的激光波长变化进行修正

 

 应用:

  • 作为精密激光干涉长度测量仪器,应用于单/多轴传动工作台,显微镜工作台,机床,定位装置
  • 机器床身的单/多轴定位
  • 机床或坐标测量机器的矫正
  • 角度测量
  • 各类高精度长度测量仪器与设备的研发

 

 技术参数:

 技术参数

MI 60  

MI 150  

MI 5000  

测量范围                                                        毫米
测量解析度 标准的                                       纳米
                     任意的                                       纳米
波长                                                                纳米
激光频率稳定性(预热后)
激光发射器预热时间                                        分
工作温度范围                                            摄氏度
角锥棱镜最大位移速度                           毫米/秒
尺寸(长 x宽 x高):
   激光传感器头                                             毫米
   角锥反射棱镜                                             毫米
   光电信号处理/电源供给单元(AVE)          毫米
   键盘和显示器单位                                     毫米
重量:
  传感头                                                              克
  角锥反射棱镜                                                  克
  光电信号处理/电源供给单元(AVE)               克
  键盘和显示器单位                                          克
介面:
   串列埠
   并列埠(可。?br />  从传感器头到AVE的光纤电缆长度              米
  使用电压                                              交流电压
  使用频率                                                      赫兹


60
 1
 0,1
 632,8
 3 ? 10-7
 1
 15…30
 600

 22 x 50 x 100
 13 x 30 x 15
 150 x 450 x 400
 48 x 190 x 138
 
 200
 12
 9.500
 630

 RS 232 C
 USB
 3, 可选用至  25
 100…240
 47…60


150
 1
 0,1 
 632,8
 3 ? 10-7
 1
 15…30
 600

 22 x 50 x 100
 13 x 30 x 15
 150 x 450 x 400
 48 x 190 x 138
 
200
 12
 9.500
 630
 
 RS 232 C
 USB
 3, 可选用至  25
 100…240
 47…60


5000
 1
 0,1
 632,8
 2 ? 10-8
 10…20
 15…30
 600

 22 x 50 x 100
 13 x 30 x 15
 150 x 450 x 400
 48 x 190 x 138

200
 12
 9.500
 630
 
 RS 232 C
 USB
 3, 可选用至  25
 100…240
 47…60