NMM-1系列纳米量测与定位机

简介:NMM-1纳米量测与定位机

纳米量测与定位机

NMM-1

 

构造和工作原理:

德国 SIOS 公司生产的纳米测量与定位机可在 25 毫米 x25 毫米 x5 毫 米的范围内定位和测量域内灵敏度到达 0.1 纳米的三维坐标轴测量。三个微 型平面镜干涉仪,探针感测器本体,两个角度感测器经过适当的设置与 安装,使测量在所有三个方向上均消除了阿贝误差。

测量物体被直接安置地在一个可移动的由三面直角反射镜组成的镜块(mirror corner)。该镜块的位置由三个固定的微型平面镜干涉仪来确定。镜块的定位由一套三轴电子动态驱动系统实现,其移动过程中产生的角度误偏差通过两个内置角度感测器来测量并修正。

三个稳定的激光光源输出的光束经由光线电缆传达到传感器头。因 此纳米测量和定位机有比较精巧和温度稳定的结构。它的电子单位 的中心是一个数字信号处理器(DSP),用于信号的处理,驱动系统的调控和测量规程路线的控制。

 

基于阿贝比测仪原理的基本配置:

 

 

纳米量测与定位机-测量工作台:

 

特性和优点:

? 大范围,高精度的三维定位与坐标量测系统

? 在三个测量轴上均应用了阿贝测长的原理,从而消除了阿贝误差

? 工作模式:

1. 动态定位系统

2. 连续扫描模式或步进模式的连续路径控制

? 纳米测量和定位机的控制由一台带有 USB 接口的计算机实现
  
? 位移时稳定性高,光线耦合传感测头,无热干扰

? 探针感测器可根据用户需求选取,例如: 扫描隧道 与扫描原子力显微镜,近场光学探针,自动聚焦 探针,电容探针和其他感测器


技术参数:

测量与定位范围: 25 毫米 x 25 毫米 x 5 毫米
解析度: 0,1 纳米(各轴)
驱动原理: 电磁驱动
驱动速度 (不在测量模式下):
? x, y 轴 ≤ 2 毫米/秒
? z 轴 ≤ 50 毫米/秒
探针感测器: 使用者依需要配置,外在模式接口-    提供定制的探针传感器系统 (输入 最大电压为± 10 伏特,解析度 16 位
测量工作与电子单元的间距: ≤ 2 米


尺寸(长 x 宽 x 高):
? 纳米测量与定位机: (340 x 420 x 420) 毫米
? 电子单元: (700 x 553 x 600) 毫米


重量:
? 纳米测量与定位机: 95 千克
? 电子单元: 75 千克

 

应用:

? 应用于微机械,微电子,光学,分子生物学和精密 工程的被研究物体的大范围,纳米级精度的定 位,操作,处理和测量
? 测量范围为 25 毫米 x25 毫米 x5 毫米的栅状扫描头微测量
? 微小零件的精密测量 测量体如: 硬度测头的针尖、自由形状的微纳零件,标高及标宽件,纳米级图纹,半导体晶片等


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