SP系列微型平面反射镜干涉仪

简介:微型平面反射镜干涉仪


构造和工作原理:

德国SIOS公司生产的SP系列微型平面反射镜干涉仪为纳米级精密测长仪器。其设计目的在于可以方便地与用户的测量系统相组合,并且能够很好的实现各种实验与测量任务。其微型激光传感测头可以永久的安装在测量系统内。

其测量物上的反射镜可以采用平面镜或具有光学特性的反射表面。使用这种反射镜允许有若干分的准直角误差而且不影响激光光束的正常工作。

激光光源输出的光束经由光线电缆传达到传感测头。微型干涉仪将平面镜沿光轴方向的运动转换成光学干涉信号并传入光电信号处理/电源供给单元进行分析,处理并输出长度值。 
操作和数据结果的显示可以结合分离的键盘/显示单元或配有套装软件的个人计算机来得以实现。

 

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 特性和优点:

  • 高精度的长度测量仪器
  • 采用一条激光射线可以减小阿贝误差
  • 易与组成各种用户测量仪器与系统,並适用于各种类型的工作
  • 光纤耦合的传感测头
  • 测量镜可以采用平面镜或其它反射表面
  • 如果镜面或其它反射表面足够大,被测物体能够偏离光轴垂直进行运动
  • 对其它计量系统或实验装置不产生热干扰
  • 采用高精度稳频的氦氖激光作为长度基准
  • 对环境因素引起的激光波长变化进行修正

 

应用: 

  • 对移动工作台,显微镜工作台,定位工作台,计量设备或机床进行精密激光干涉测量
  • 单/双/多轴坐标测量
  • 平面镜内的二维测量,譬如:平面桌
  • 矫正长度测量仪器
  • 振动测量,角度测量
  • 实现长度和角度同时测量,可用于真空腔
  • 非接触的表面形貌测量

 

 

技术参数:

技术参数

          SP 120 

         SP 2000 

测量范围                                                                    毫米

测量解析度          标准的                                          纳米

                              优化的                                          纳米

波长                                                                            纳米

激光频率稳定性(预热后)

激光反射器预热时间                                                    分

工作温度范围                                                        摄氏度

测量镜最大位移速度                                           毫米/秒

尺寸(长x 宽 x 高):

传感测头                                                                    毫米

光电信号处理/电源供给单元                                   毫米

键盘/显示单元                                                           毫米

重量:

传感测头                                                                        克

光电信号处理/电源供给单元                                       克

键盘/显示单元                                                               克

介面:

              串列埠

              并列埠(可。?/p>

传感测头与电子单元的光纤电缆长度:                    米

使用电压                                                            交流电压

使用频率                                                                    赫兹

         100

         1                           

         0,1                        

         632,8

         3 ? 10-7

         1

         15…30

         600

       

         36 x 70 x 70

         150 x 450 x 400

         48 x 190 x 138

       

         200

         9.500

         630 

         

         RS 232 C

         USB

        3, 可选用至 10

         100…240

         47…60

       2000

         1

         0,1                         

         632,8

         2 ? 10-8

         10…20

         15…30

         600

      

         36 x 70 x 70

         150 x 450 x 400

         48 x 190 x 138

     

         200

         9.500

         630 

        

         RS 232 C

         USB

         3, 可选用至10

         100…240

          47…60