SP-DS微型双光束平面镜干涉仪

简介:SP-DS微型双光束平面镜干涉仪


构造和工作原理:

德国SIOS公司生产的SP-D微型双光束平面镜干涉仪是一种测量仪器。其设计通过采用两条平行的测量光线同时捕获两个达到纳米精度的长度数值。两个长度值和光束间距的差距可以通过相应角度确定。

当时允许的角度范围大约是两分而且不受光程的影响。如果对长度进行较小的改变,则测量光线聚焦到物体表面的角度范围被提高到正负30分。

激光光源输出的光束经由光线电缆传达到传感器头。微型干涉仪可以将棱镜运动产生的光学干涉信号通过光纤传输到光电信号处理与激光电源单元,经数据处理变为位移长度值。 

采用大范围动态稳频氦氖激光器与环境参数实时采集动态修正技术是提高测量精度的基本要素。操作和数据结果的显示可以结合专用的键盘与显示器或配有套装软件的个人计算机来得以实现。
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特性和优点:

  • 可以同时进行高精度长度和角度测量
  • 采用高稳频的氦氖激光作为光源
  • 光纤耦合的传感测头
  • 相适配的光线距离
  • 对环境影响的激光波长进行补偿
         工作原理:

  

 


    

应用:

  • 可测量平面工作台,显微镜工作台, 定位工作台,坐标测量机或机床
  • 二/多轴应用系统附加角度修正
  • 可测量相对于固定参考平面的位移
  • 拐角测量
  • 非接触表面形貌测量
  • 材料检验, 譬如:扩张器

 

技术参数:

 技术参数

 SP 120-D         

SP 2000-D      

 测量范围                                    毫米              

100

 2000

 测量解析度                           纳米

 1

 1

 解析度,任意的                       纳米

 0,1

 0.1

 光线距离                             纳米

 2...4,≤ 10

 2...4, ≥ 10

 角度测量范围                         弧分

 ± 2

 ± 2

 角度解析度(1 毫微米的位移解析度)

 

 

       光束间距:   2毫米              弧

 01

 0.1

       光束间距:   4毫米              弧

 0.05

 0.05

       光束间距:   12,7毫米           弧

 0.02

 0.02

       光束间距:   25,4毫米           弧

 0.01

 0.01

 激光光束焦距与角度测量范围

 ± 30

 ± 30

 波长                                          纳米

 632,8

 632,8

 激光频率稳定性(预热后)

 3 ? 10-7

 2 ? 10-8

 激光发射器预热时间                  分

 1

 10…20

 工作温度范围                        摄氏度

 15...30

 15…30

 反射器最大移动速度                  毫米/秒

 600

 600

 介面:        串列埠

 RS 232 C

 RS 232 C

             并列埠(可。?/span>

 USB

 USB

 传感测头与电子单元的光纤电缆长度   米

 3, 可选用至10

3, 可选用至10

 使用电压/频率  交流电压/ 赫兹

 100…240 / 47…60

 100…240 / 47…60