SP-TR系列三光束射线平面镜干涉仪

简介:SP-TR系列三光束射线平面镜干涉仪


构造和工作原理:

德国SIOS公司生产的SP-TR系列三光束射线平面镜干涉仪是一种兼有三个干涉仪的嵌入式测量仪器。使用这种仪器可以同时捕获三个到达纳米精度的长度值。每两个长度值和光束间距的差距可以通过相应角度确定。俯仰角和偏摆角的测量范围大约在两分。
三个干涉仪采用相同的高稳定氦氖激光器,以保证三个测量系统具有相同的波长。激光光源输出的光束经由光线电缆传达到传感器头。微型干涉仪将棱镜运动产生的光学干涉信号通过光纤传输到光电信号处理与激光电源单元,经数据处理变为位移长度值。
采用大范围动态稳频氦氖激光器与环境参数实时采集动态修正技术是提高测量精度的基本要素。操作和数据结果的显示可以结合专用的键盘与显示器或配有套装软件的个人计算机来得以实现。


 

特性和优点:

  • 高精度及同时捕获三个轴的长度测量,俯仰角和偏转角
  • 三个测量光线使用相同的激光波长
  • 矫正光束间距

 


工作原理:

 

 应用:

  • 激光干涉的测量,主要应用在接触面,显微镜,测量以及定位装置
  • 在二/多维测量中对俯仰角和偏转角高精度矫正
  • 对测量机器以及工场机器的矫正
  • 用于不同的测量地方,譬如热膨胀计,材料检验
  • 对超出范围(>     ± 2 弧分)的角度测量进行询问

 

技术参数:??