SP-15000TR三光束激光干涉仪
简介：15米超长测程，高精度长度及角度测量
设计，构造及工作原理：
德国SIOS公司全新推出的三光束激光干涉仪SP- 15000TR适用于15米超长测程，高精度位移及角度测量，并实现测量数据(长度，角度)即时显示及存储。
SP 15000 TR干涉仪的位移测量分辨率优于0.1纳米，角度测量分辨率优于0.04弧秒。
SP 15000 TR干涉仪的反射器由三组高精度空心角锥棱镜组成(高精度空心棱镜反射器装置)。当旋转中心与反射器中心重合时，其最大可调节倾角为±5度。
测量与校准可通过位移控制器实现同步操作。数据采集控制可通过采用不同形式触发脉冲实现。测量值通过高速USB接口与计算机进行实时数据传输。
特性与优点：
- 可同时在轴向进行三个纳米级精度的长度测量，并实现俯仰角和偏摆角高精度测量
- 光束偏转装置可选配, 如可调节的光束偏转镜
- 干涉仪内置光束方向检测装置，仪器操作与调整更简易
- 光束间距经过严格出厂标定，以保证测量精度及可靠性
- 由一台稳频激光器同时为三个测量轴提供光源，使三个长度测量值都基于同一参考长度(激光器的波长作为长度测量参考波长)
角度测量示意图：
应用：
- 精密、超精密机械加工中心/机床、大型高精密三坐标测量机等，机械轴/坐标轴校准
- 15米超长测程，超精密长度与角度同步测量
- 差动式测量（如: 材料膨胀测量）
技术参数
