SP-15000TR三光束激光干涉仪

简介:15米超长测程,高精度长度及角度测量


设计,构造及工作原理:

德国SIOS公司全新推出的三光束激光干涉仪SP- 15000TR适用于15米超长测程,高精度位移及角度测量,并实现测量数据(长度,角度)即时显示及存储。

SP 15000 TR干涉仪的位移测量分辨率优于0.1纳米,角度测量分辨率优于0.04弧秒。

SP 15000 TR干涉仪的反射器由三组高精度空心角锥棱镜组成(高精度空心棱镜反射器装置)。当旋转中心与反射器中心重合时,其最大可调节倾角为±5度。

测量与校准可通过位移控制器实现同步操作。数据采集控制可通过采用不同形式触发脉冲实现。测量值通过高速USB接口与计算机进行实时数据传输。



特性与优点:

  • 可同时在轴向进行三个纳米级精度的长度测量,并实现俯仰角和偏摆角高精度测量
  • 光束偏转装置可选配, 如可调节的光束偏转镜
  • 干涉仪内置光束方向检测装置,仪器操作与调整更简易
  • 光束间距经过严格出厂标定,以保证测量精度及可靠性
  • 由一台稳频激光器同时为三个测量轴提供光源,使三个长度测量值都基于同一参考长度(激光器的波长作为长度测量参考波长)


角度测量示意图:



应用:

  • 精密、超精密机械加工中心/机床、大型高精密三坐标测量机等,机械轴/坐标轴校准
  • 15米超长测程,超精密长度与角度同步测量
  • 差动式测量(如: 材料膨胀测量)


技术参数



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