SIOS最新产品 SP 15000C 系列干涉仪

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设计,构造及工作原理:

德国SIOS公司全新推出的三光束激光干涉仪SP- 15000 C 系列适用于15米超长测程,高精度位移及角度测量,并实现测量数据(长度,角度)即时显示及存储。相比以往系列产品,SP 15000 C 可以实现连续的5自由度测量。

SP 15000 C 系列干涉仪的反射器由多组高精度空心角锥棱镜和可旋转的沃拉斯顿棱镜组成。除此之外,反射器还包含了平直镜和90°光束偏折镜。

测量与校准可通过位移控制器实现同步操作。数据采集控制可通过采用不同形式触发脉冲实现。测量值通过高速USB接口与计算机进行实时数据传输。



特性与优点:

  • 可同时在轴向进行三个纳米级精度的长度测量,并实现俯仰角和偏摆角高精度测量
  • 光束偏转装置可选配, 如可调节的光束偏转镜
  • 干涉仪内置光束方向检测装置,仪器操作与调整更简易
  • 光束间距经过严格出厂标定,以保证测量精度及可靠性
  • 由一台稳频激光器同时为三个测量轴提供光源,使三个长度测量值都基于同一参考长度(激光器的波长作为长度测量参考波长)